Qarshilik
Rezistiv sensor - bu o'lchangan jismoniy miqdorlarni, masalan, siljish, deformatsiya, kuch, tezlanish, namlik, harorat va boshqalarni qarshilik qiymatlariga aylantiradigan qurilma. Asosan rezistiv kuchlanish o'lchagich, piezorezistiv turdagi, termal qarshilik, termal, gazga sezgir, namlikka sezgir va boshqa qarshilik sezuvchi qurilmalar mavjud.
Rezistiv kuchlanish o'lchagich
Datchikdagi rezistiv deformatsiya o'lchagichlari metall deformatsiya ta'siriga ega, ya'ni tashqi kuch ta'sirida mexanik deformatsiya sodir bo'ladi, shuning uchun qarshilik qiymati mos ravishda o'zgaradi. Qarshilik kuchlanish o'lchagichlarining ikkita asosiy turi mavjud: metall va yarim o'tkazgich va metall deformatsiya o'lchagichlar sim turiga, folga turiga va yupqa plyonka turiga bo'linadi. Yarimo'tkazgichli kuchlanish o'lchagichlari yuqori sezuvchanlik (odatda sim va folga turlaridan o'nlab marta) va kichik transvers effektning afzalliklariga ega.
Piezorezistiv
Piezorezistiv datchiklar yarimo'tkazgichli materiallarning piezorezistiv ta'siriga ko'ra yarimo'tkazgich materiallarining tagida diffuziya qarshiligi bilan ishlab chiqarilgan qurilmalardir. Substrat to'g'ridan-to'g'ri o'lchov sezuvchi element sifatida ishlatilishi mumkin va diffuziya qarshiligi ko'prik shaklida substratga ulanadi. Substrat tashqi kuch ta'sirida deformatsiyalanganda, qarshilik qiymatlari o'zgaradi va ko'prik mos keladigan muvozanatsiz chiqish hosil qiladi.
Piezorezistiv datchiklar sifatida ishlatiladigan substrat (yoki diafragma) materiallari asosan kremniy gofretlari va germaniy gofretlari bo'lib, kremniy gofretlardan tayyorlangan silikon piezorezistiv sensorlar, ayniqsa, bosim va tezlikni o'lchaydigan qattiq holatdagi piezoresistiv sensorlar uchun ko'proq e'tiborni tortdi.
RTD
Qarshilik haroratini o'lchash metall o'tkazgichning qarshiligi harorat oshishi bilan ortib borishiga asoslanadi. Issiqlik qarshiligi asosan sof metall materiallardan tayyorlanadi, platina va mis eng ko'p qo'llaniladi va nikel, marganets va rodiy kabi materiallar issiqlik qarshiligini yaratish uchun ishlatila boshlandi.
RTD sensorlari harorat va harorat bilan bog'liq parametrlarni qarshilik qiymatining harorat bilan o'zgarishini ishlatib o'lchaydi. Ushbu sensor haroratni aniqlashning aniqligi talab qilinadigan holatlar uchun ko'proq mos keladi. Kengroq RTD materiallari platina, mis, nikel va boshqalar bo'lib, ular qarshilikning katta harorat koeffitsienti, yaxshi chiziqlilik, barqaror ishlash, keng harorat oralig'i va oson ishlov berish xususiyatlariga ega. U -200 daraja ~+500 daraja oralig'ida haroratni o'lchash uchun ishlatiladi.